Ahlers, Mareike (2010) Neuartige Precursor zur Abscheidung von Selten-Erd-Oxiden. PhD, Universität Oldenburg.

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Abstract

Im Rahmen dieser Arbeit wurden Solvate von Nitraten und Perchloraten der Selten-Erd-Elemente untersucht. Alle Verbindungen konnten strukturchemisch und thermoanalytisch charakterisiert werden, wobei die Zersetzungsrückstände pulverdiffraktometrisch analysiert wurden. Der thermische Abbau führt dabei zu den jeweiligen Oxiden bzw. Oxidchloriden. Es wurden verschiedene Precursorsyteme für die Abscheidung von Selten-Erd-Oxid-Dünnschichten auf einer Silicium-Oberfläche auf Basis von Nitrat-Solvaten entwickelt und untersucht. Durch Aufbringung des in organischen Lösungsmitteln gelösten Precursors konnten Ultradünnschichten auf der H-Si(111)-Oberfläche erhalten werden. Die Oxid-Schicht konnte nach dem Aufheizen der Probe detektiert werden. Die Filmdicke konnte dabei auf < 10 nm bestimmt werden, wobei die Dicke und das Abscheidungsverhalten des Films durch die Konzentration der Precursorlösung gesteuert werden kann.

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During this work rare earth solvates with nitrate and perchlorate anions have been investigated. All compounds have been structurally characterized and analyzed using thermal gravimetric analysis. The decomposition residues were analyzed using powder diffraction methods. The thermal decomposition yields the respective oxides or oxide chlorides. A variety of different precursor systems based on nitrate solvates for the deposition of rare earth oxide layers on a silicon surface were developed and investigated. Ultra thin films on a H-Si(111) surface were obtained via the deposition of the precursor, which was dissolved in organic solvents. An oxide layer was detected after the heating of the sample. The film thickness was measured as < 10 nm, whereas the thickness and the deposition behavior of the film was controlled by the concentration of the precursor solution.

Item Type:	Thesis (PhD)
Uncontrolled Keywords:	[Keine Schlagwörter von Autor/in vergeben.]
Controlled Keywords:	Seltenerdoxide , Solvatation , Lanthanoide , Nitrate , Perchlorate
Subjects:	Science and mathematics > Chemistry
Divisions:	Faculty of Mathematics and Science Faculty of Mathematics and Science > Department of Chemistry (IfC)
Date Deposited:	17 Jan 2013 14:24
Last Modified:	08 Jul 2013 13:04
URI:	https://oops.uni-oldenburg.de/id/eprint/937
URN:	urn:nbn:de:gbv:715-oops-10065
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