Hänßler, Olaf C. (2018) Multimodal sensing and imaging technology by integrated scanning electron, force, and nearfield microwave microscopy and its application to submicrometer studies. PhD, Universität Oldenburg.

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Abstract

The work covers a multimodal microscope technology for the analysis, manipulation and transfer of materials and objects in the submicrometer range. An atomic force microscope (AFM) allows imaging of the surface topography and a Scanning Microwave Microscope (SMM) detects electromagnetic properties, both operating in a Scanning Electron Microscope (SEM). The described technology demonstrator allows to observe the region-of-interest live with the SEM, while at the same time a characterization with interacting evanescent near-field microwaves and intermolecular forces takes place.

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Multimodale Sensor- und Bildgebungstechnologie mithilfe integrierter Rasterelektronen-, Rasterkraft- und Mikrowellen-Nahfeldmikroskopie und deren Anwendung in Submikrometerstudien

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Die Arbeit beschäftigt sich mit einer multimodalen Mikroskoptechnologie zur Untersuchung, Manipulation und zum Transport von Materialien und Objekten im Submikrometerbereich. Ein Rasterkraftmikroskop (AFM) ermöglicht die Abbildung der Oberflächentopographie und ein Rastermikrowellenmikroskop zeichnet elektromagnetische Eigenschaften auf, beide in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) operierend. Der beschriebene Technologiedemonstrator erlaubt es, die „Region-of-Interest“ mit dem REM live zu beobachten, während gleichzeitig eine Charakterisierung mit wechselwirkenden evaneszenten Nahfeld-Mikrowellen und intermolekularen Kräften erfolgt.

Item Type:	Thesis (PhD)
Uncontrolled Keywords:	Rasterelektronenmikroskop, Multimodalität, Mikroskopie, Nanorobotik, Mikrowelleninterferometer
Subjects:	Generalities, computers, information > Computer science, internet
Divisions:	School of Computing Science, Business Administration, Economics and Law > Department of Computing Science
Date Deposited:	19 Apr 2018 14:07
Last Modified:	19 Apr 2018 14:07
URI:	https://oops.uni-oldenburg.de/id/eprint/3580
URN:	urn:nbn:de:gbv:715-oops-36612
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